無(wú)氧烤箱晶圓封裝充氮潔凈烘箱

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
無(wú)氧烤箱晶圓封裝充氮潔凈烘箱產(chǎn)品用途范圍：用于FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料，無(wú)塵烘干BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別）、，電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無(wú)氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)等應(yīng)用。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2026-02-10

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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無(wú)氧烤箱晶圓封裝充氮潔凈烘箱產(chǎn)品特點(diǎn)：

整體結(jié)構(gòu)采用單門多倉(cāng)結(jié)構(gòu)，控制柜位于箱體上方，外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑，工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內(nèi)部光亮整潔，自身潔凈不產(chǎn)塵。

產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：

品名	千級(jí)潔凈烘箱
型號(hào)	SKCOL-9070A*4
工作室尺寸	W400 * D350 * H500 MM
總消耗功率	2.0 KW
潔凈度	Class 100 （立方英尺0.5UM顆粒數(shù)小于100，立方米0.5UM顆粒數(shù)小于3520）
容積（L）	70 L
溫度	RT+20 ～ +250℃
配置	P.I.D控溫三色燈，急停按鈕

設(shè)備技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目	內(nèi)容
工作室容積	（400mm×350mm×500mm ）(W寬×D深×H高）
工作溫度范圍	RT+20 ～ +250℃
升溫速率	5℃/min （空載，非線性）
溫度偏差	≤±1℃(空載，恒定狀態(tài)時(shí))
溫度精度/分辨率	±0.1℃
溫度波動(dòng)度	±1℃(空載，恒定狀態(tài)時(shí))
溫度均勻性	±1.5%(空載，恒定狀態(tài)時(shí)) 200℃時(shí)誤差為±3℃
時(shí)間定時(shí)范圍	0 – 9999 小時(shí)，分鐘，秒
潔凈等級(jí)	Class100 立方米≥0.5UM塵?！?span style="margin: 0px;">35000 /立方英尺≥0.5UM塵粒≤1000
總功率	2.5 KW
電源	220V 50Hz （三相五線）
電源線	2.5米

箱體結(jié)構(gòu)系統(tǒng)

項(xiàng)目	內(nèi)容
結(jié)構(gòu)方式	整體結(jié)構(gòu)采用單門立式結(jié)構(gòu)，控制柜位于箱體上方，外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑，工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內(nèi)部光亮整潔，自身潔凈不產(chǎn)塵。
材料構(gòu)成	1.外壁材料：1.5mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑，顏色為工業(yè)白。 2.內(nèi)壁材料：2.0mm厚SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。 3.絕熱材料：100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。
結(jié)構(gòu)強(qiáng)度	箱底板承重能力：≤130Kg（均勻負(fù)載）
柜門	1．單開門結(jié)構(gòu)，門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條。 2．拉手采用拉桿式安全防爆拉手。

備注：干燥箱工作室內(nèi)部經(jīng)過(guò)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。用戶在使用潔凈烘箱之前應(yīng)使用無(wú)紡無(wú)塵布擦拭工作室內(nèi)部及隔板。

項(xiàng)目

內(nèi)容

配置

1．風(fēng)道位于箱體頂部與背部，高效過(guò)濾器H.E.P.A位于箱體風(fēng)道內(nèi)部。

2．熱風(fēng)經(jīng)過(guò)H.E.P.A進(jìn)入干燥箱內(nèi)部，再循環(huán)至頂部進(jìn)入風(fēng)道，往復(fù)循環(huán)。

3．三相異步長(zhǎng)軸耐高溫長(zhǎng)軸馬達(dá)，帶相序保護(hù)，超溫過(guò)流保護(hù)。

4．不銹鋼渦輪扇葉，出廠經(jīng)動(dòng)平衡調(diào)校，確保送風(fēng)平穩(wěn)。

5．排風(fēng)口：不銹鋼排風(fēng)管，帶自動(dòng)風(fēng)閥，排風(fēng)管位于箱體背部。

工作方式

設(shè)備啟動(dòng)，鼓風(fēng)裝置持續(xù)運(yùn)行，箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)。

過(guò)濾系統(tǒng)

項(xiàng)目

內(nèi)容

配置

1．耐高溫高效過(guò)濾器，過(guò)濾等級(jí)H13 (99.97% - 99.99% @0.3um）

2．采用進(jìn)口耐高溫超細(xì)纖維芯材，連續(xù)耐溫350℃，鋁箔隔層，陶瓷膠密封

3．邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條

工作方式

設(shè)備啟動(dòng)，熱風(fēng)循環(huán)啟動(dòng)，熱風(fēng)通過(guò)高效過(guò)濾器H.E.P.A實(shí)現(xiàn)箱內(nèi)自凈化。

安全保護(hù)系統(tǒng)

項(xiàng)目	內(nèi)容
工作室	獨(dú)立式工作室超溫保護(hù)器
加熱系統(tǒng)	欠壓、超壓保護(hù).過(guò)流保護(hù).加熱器斷線保護(hù).超溫保護(hù)
熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)	相序保護(hù).缺相，欠壓保護(hù).過(guò)熱，過(guò)載，過(guò)流保護(hù)
電源系統(tǒng)	電源缺相及相序錯(cuò)誤保護(hù).漏電保護(hù).加熱器超溫保護(hù).加熱器短路過(guò)流保護(hù)
其他	設(shè)備外殼接地保護(hù)，電磁門禁系統(tǒng)